洁净室空调设备主要包括风机过滤器单元、高效空气过滤器、静电除尘、冷凝器、加湿器、回风口、送风口、管道系统等部件。

风机过滤器单元是最基本的组成部分，它通过旋转或直流电动机驱动叶轮，产生气流并将室内空气吸入，通过高效过滤器净化后再反向送回到室内。

静电除尘器则通过电场的作用将空气中的粘着物质去除，保证洁净室的洁净度达到要求。

加湿器也是必不可少的设备，它通过向气流中加入水汽来保持空气湿度稳定。