多晶硅加工废水处理系统中设置调节池，在调节池中对多晶硅加工废水进行收集,均均水质水量。 然后进入助凝.沉淀池，加入水处理药剂，将泥水进行分离，分离后的上清液进入后续的催化氧化池内。

催化氧化池内进行生化处理，采用臭氧-双氧水联合催化氧化技术，催化氧化提高了废水生化性。

催化氧化后进入水解酸化池，废水在水解池通过水解酸化作用，大分子的有机物被水解成易于被后续好氧菌所降解的小分子有机物，从而使污水的可生化性和生化去除效果大幅度提高，使得好氧段有较高的COD去除率。